型號

MTS311

MTS312

MTS313

MTS314

MTS315

MTS316

MTS317

行程（mm）

50

100

150

200

250

300

400

臺(tái)面尺寸(mm)

120×120

120×120

120×120

150×120

150×120

150×120

165×160

導(dǎo)軌

線性滑塊

螺桿導(dǎo)程(mm)

4

5

分辨率（mm）

0.00032

0.00039

極限速度（mm/s）

20

40

50

重復(fù)定位精度(mm)

＜0.003

運(yùn)動(dòng)直線度（mm）

0.01

0.01

0.01

0.015

0.015

0.02

0.02

運(yùn)動(dòng)平面度（mm）

0.015

0.015

0.015

0.02

0.02

0.025

0.025

軸向間隙(mm)

＜0.005

步進(jìn)電機(jī)（1.8°）

42步進(jìn)電機(jī)

56步進(jìn)電機(jī)

極限靜轉(zhuǎn)矩（Ncm）

40

50

170

中心負(fù)載（kg）

20

30

50

自重（kg）

3.4

3.8

4.1

5.5

5.8

6.3

11.5

備注

可選配防護(hù)罩，應(yīng)用真空環(huán)境中，需單獨(dú)訂貨